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半导体吸附式尾气处理设备有什么优点?

日期:2021年01月25日  点击:载入中...
  现在基本已进入以半导体技术为重心的信息时代,因半导体生产过程中需要使用多种气体,会产生很多的废气。那么在半导体生产过程中就需要使用到尾气处理设备了。

  随着半导体制程工艺的不断细化,废气治理工作的深入,为了避免在冗长的排气过程中引发非预期的气体泄漏,局部聚积或相互反应,所以制程中特气废气需尾气处理设备(常用吸附式)做处理。那么吸附式尾气处理设备有什么优势呢?

  吸附式尾气处理设备的优点:

  1、吸附剂处理,无废水。以材质 SUS304、容量100L的吸附桶完全处理设备尾气,处理过程中不需要耗用水资源,没有废水处理问题;

  2、节省能源,无明火。在无尘室内处理废气时不产生火源,没有明火,没有高耗能的需求;

  3、 系统功能齐全。尾气处理设备以PLC 触控面板为主体搭配人机接口控制系统,各管路进、出口设计压力、温度、CDA流量、N2流量传感器,针对设备运行时各种状况,随时监控;

  4、 尾气出口处安装变频风机,可根据进出口压力,调整风机转速,能提升药剂使用寿命、稳定处理废气压力和避免废气回流

  5、 指示剂:配备PH3, AsH3气体监控变色球指示剂,替代传统电化学计。

  以上就是吸附式尾气处理设备的一些优点,大家可以参考一下,想要了解更多关于半导体尾气处理设备的小知识,欢迎致电上海高生咨询!
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